Boron11 Trichloride полупроводниковая двойная полупроводника сухое травление
Внедрение продукции
При нормальной температуре и давлении бор трихлорид (BCL 3 ) представляет собой бесцветный дымовой газ, который является легковоспламеняющимся, острым, кислым запахом. Трихлорид бора разлагается в соляную кислоту и борную кислоту и высвобождает много тепла, встречающегося с водой, он генерирует дым во влажном воздухе из -за гидролиза, а BCL 3 разлагается в гидрохлорную кислоту и эфир жилочной кислоты в спирте. Бор Трихлорид обладает сильной способностью реакции и может образовывать различные координационные соединения. Трихлорид бора может реагировать со стеклом и керамикой при нагревании, а также реагирует со многими органическими соединениями, образуя различные органоборонные соединения. Трихлорид высокой чистоты111 в основном используется для диффузионного легирования в производственном процессе (кремниевых) полупроводниковых устройств. Примеси бора генерируются посредством разложения BCL 3 и диффундируют к кремнию с образованием полупроводника P-типа при высокой температуре. BCL 3 также можно использовать для сухого травления Al, Mosi 2 , Tasi 2 , Tisi 2 , WSI и других материалов.
Спецификация качества
|
items
|
Units
|
Index
|
|
Boron11 Trichloride≥
|
Vol.%
|
99.9995
|
|
Oxygen+Argon<
|
Vol.ppm
|
1
|
|
Nitrogen<
|
Vol.ppm
|
4
|
|
Ca
rbon monoxide<
|
Vol.ppm
|
0.5
|
|
Carbon dioxide<
|
Vol.ppm
|
0.2
|
|
Methane <
|
Vol.ppm
|
0.5
|
|
Total impurity content≤
|
Vol.ppm
|
5
|
|
Metal ion
|
Vol.ppm
|
Supply and demand agreement
|
Приложение
Трихлорид бора может использоваться для изготовления высокого чистого бора, катализатора органического синтеза, потока для разложения силиката, а также используется в качестве добавки дексидизатора, нитридов и карбидов при переработке сплава. Трихлорид с высоким чистым бором11 в основном используется в диффузионном легировании, ионной имплантации, сухое травление и других процессах в полупроводниковых устройствах и интегрированном производстве цепи.
Упаковка и хранение
Boron11 Трихлорид заполняется в цилиндре. Цилиндр, заполненный трихлоридом Boron11, соответствует соответствующим положениям GB14193. Спецификации упаковки включают 10L и 47L. Продукт хранится в тенистой, сухой и вентилируемой кладовой ниже 60 ℃ . Запрещено подвергать солнцу и держаться подальше от источников тепла. Пакет должен быть запечатан, и он должен быть отдельно храниться с помощью щелочных и других опасных статей.
Contact Now
