Privacy statement: Your privacy is very important to Us. Our company promises not to disclose your personal information to any external company with out your explicit permission.
Модель: Xenon Difluoride CAS: 13709-61-0
Вид оплаты: L/C,T/T,Paypal
Ксенон дифторид CAS: 13709-61-0 XEF2 99,9% 3N для полупроводникового травления
Ксенон дифторид разлагается в нейтральных или щелочных растворах и относительно стабилен в кислотных растворах. Водный раствор имеет острый запах. Ксеноновый дифторид паров бесцветный и имеет тошнотворное зловоние. В электронике XEF2 часто используется в качестве газа травления для кремния. Поскольку химическая реакция между XEF2 и кремнием является спонтанной реакцией, XEF2 обладает очень высокой селективностью в процессе травления кремния. В процессе травления кремния с помощью XEF2, xEF2 газообразной путем свободно диффундируя на поверхности кремниевого субстрата и химически реагируя с самыми внешними атомами кремния для генерации газообразного XE и газообразного SIF4, реализуется коррозия кремния.
Параметр продукта
Xenon difluoride(XeF2)≥ |
Vol.% |
99.9 |
Kalium(K)≤ |
mg/kg |
0.18 |
Calcium(Ca)≤ |
mg/kg |
0.15 |
Sodium(Na)≤ |
mg/kg |
0.70 |
Magnesium(Mg)≤ |
mg/kg |
0.12 |
Aluminum(Al)≤ |
mg/kg |
0.17 |
Zinc(Zn)≤ |
mg/kg |
0.30 |
Iron(Fe)≤ |
mg/kg |
1.21 |
Plumbum(Pb)≤ |
mg/kg |
0.07 |
Cuprum(Cu)≤ |
mg/kg |
0.05 |
Chromium(Cr)≤ |
mg/kg |
0.15 |
(Mn)≤ |
mg/kg |
0.04 |
Manganese(Mo)≤ |
mg/kg |
0.15 |
Nickel(Ni)≤ |
mg/kg |
0.83 |
Phosphorus(P)≤ |
mg/kg |
0.14 |
Приложение
Ксеноновый дифторид является своего рода селективным фларидизатором, который широко используется при приготовлении неорганического фторида и органического синтеза, но только в газовой фазе и не вводном растворе он может использовать в качестве флуридизатора, а только в водном растворе он может использовать в качестве окислителя. Кроме того, XEF 2 обычно используется в качестве газа травления кремния в электронике.
Упаковка 、 хранение
Ксенон дифлюорид является стабильным соединением, и его можно долго хранить в никелевых контейнерах или алюминиевом сплаве в течение длительного времени. Чтобы удовлетворить различные требования научных исследовательских институтов и предприятий, спецификации упаковки включают 100G, 500G, 1 кг, 2 кг и 5 кг и т. Д. Конкретные спецификации упаковки могут быть настроены в соответствии с требованиями пользователя. Ксенон дифлюорид должен храниться в тенистой и вентилируемой кладовой, отделенной от окислителя 、 пищевые химические вещества 、 щелочный металл, держащий вдали от источников огня.
Группа Продуктов : Полупроводниковые электронные химические материалы > Полупроводниковые/пластинговые материалы
мобильный сайт
Privacy statement: Your privacy is very important to Us. Our company promises not to disclose your personal information to any external company with out your explicit permission.
Fill in more information so that we can get in touch with you faster
Privacy statement: Your privacy is very important to Us. Our company promises not to disclose your personal information to any external company with out your explicit permission.