Contact Now
Please Leave Us A Message
Privacy statement: Your privacy is very important to Us. Our company promises not to disclose your personal information to any external company with out your explicit permission.
Shandong Zhongshan Photoelectric Materials Co., Ltd
Вид оплаты: L/C,T/T,Paypal
Инкотермс: FOB,CIF,DDP
C4F6 CAS: 685-63-2 HEXAFLUORO-1 3-Бутадиен 99,99% 4N
Чип -травление агента
Использование продукта
Hexafluoro-1,3-бутадиен (C 4 F 6 ) является своего рода бесцветным, без запаха и нерастворимых газа. При нормальной температуре и давлении его температура плавления составляет 132,0 ℃, температура кипения составляет 5,9 ℃. Гексафлуору-1,3-бутадиен является своего рода конъюгированным олефинами, который содержит шесть атомов фтора и две двухуглеродные двойные связи, как своего рода превосходное Газ травление, из-за его уникального соотношения F/C, гексафлуоро-1,3-бутадиенех, более высокая селективность травления, точность и соотношение сторон, чем у традиционного перфторированного насыщенного фторуглеродного газа травления, гексафлуоро-1,3-бутадиена может затмеваться меньше 100 нм, гексафлуоро-1,3-бутадиен. Даже более узкая электронная цепь. Кроме того, C 4 F 6 имеет более высокое селективное соотношение фоторезиста и нитрида кремния, чем у C 4 F 8 , что может улучшить стабильность травления, скорость травления и однородность и, таким образом, улучшить качество продукта.
Параметр продукта
|
Items |
Unit |
Index |
|
C4F6 |
Vol.% |
≥99.99 |
|
N2 |
Vol.ppm |
≤10 |
|
O2+Ar |
Vol.ppm |
≤2 |
|
H2O |
Vol.ppm |
≤3 |
|
CO2 |
Vol.ppm |
≤10 |
|
CO |
Vol.ppm |
≤3 |
|
Isopropanol |
Vol.ppm |
≤5 |
|
Other fluorocarbon |
Vol.ppm |
≤70 |
|
Measured by HF） |
Wt.ppm |
≤2 |
Приложение
Используется в качестве травления газа для травления плазмы полупроводниковых продуктов.
Упаковка и хранение
Гексафлуоро-1,3-бутадиен заполняется стальными цилиндрами моделью B10, размером 14 см × 83 см, внутренний объем 10,1 л, валовой вес 14,7 кг, полезная нагрузка 10 кг. Спецификации упаковки могут быть настроены в соответствии с требованиями клиентов.
Группа Продуктов : Полупроводниковые электронные химические материалы > Полупроводниковые/пластинговые материалы
мобильный сайт
Privacy statement: Your privacy is very important to Us. Our company promises not to disclose your personal information to any external company with out your explicit permission.
Fill in more information so that we can get in touch with you faster
Privacy statement: Your privacy is very important to Us. Our company promises not to disclose your personal information to any external company with out your explicit permission.