C3F8 Octafluorooropropane CAS: 76-19-7 99,999%
Травление высокой чистоты
Ксенон дифторид разлагается в нейтральных или щелочных растворах и относительно стабилен в кислотных растворах. Водный раствор имеет острый запах. Ксеноновый дифторид паров бесцветный и имеет тошнотворное зловоние. В электронике XEF2 часто используется в качестве газа травления для кремния. Поскольку химическая реакция между XEF2 и кремнием является спонтанной реакцией, XEF2 обладает очень высокой селективностью в процессе травления кремния. В процессе травления кремния с помощью XEF2, xEF2 газообразной путем свободно диффундируя на поверхности кремниевого субстрата и химически реагируя с самыми внешними атомами кремния для генерации газообразного XE и газового SIF4, реализуется коррозия кремния.
Параметр продукта
|
Xenon difluoride（XeF2）≥
|
Vol.%
|
99.9
|
|
Kalium（K）≤
|
mg/kg
|
0.18
|
|
Calcium（Ca）≤
|
mg/kg
|
0.15
|
|
Sodium（Na）≤
|
mg/kg
|
0.70
|
|
Magnesium（Mg）≤
|
mg/kg
|
0.12
|
|
Aluminum（Al）≤
|
mg/kg
|
0.17
|
|
Zinc（Zn）≤
|
mg/kg
|
0.30
|
|
Iron（Fe）≤
|
mg/kg
|
1.21
|
|
Plumbum（Pb）≤
|
mg/kg
|
0.07
|
|
Cuprum（Cu）≤
|
mg/kg
|
0.05
|
|
Chromium（Cr）≤
|
mg/kg
|
0.15
|
|
（Mn）≤
|
mg/kg
|
0.04
|
|
Manganese（Mo）≤
|
mg/kg
|
0.15
|
|
Nickel（Ni）≤
|
mg/kg
|
0.83
|
|
Phosphorus（P）≤
|
mg/kg
|
0.14
|
Приложение
Ксеноновый дифторид является своего рода селективным фларидизатором, который широко используется при приготовлении неорганического фторида и органического синтеза, но только в газовой фазе и не вводном растворе он может использовать в качестве флуридизатора, а только в водном растворе он может использовать в качестве окислителя. Кроме того, XEF 2 обычно используется в качестве газа травления кремния в электронике.
Упаковка 、 хранение
Ксенон дифлюорид является стабильным соединением, и его можно долго хранить в никелевых контейнерах или алюминиевом сплаве в течение длительного времени. Чтобы удовлетворить различные требования научных исследовательских институтов и предприятий, спецификации упаковки включают 100G, 500G, 1 кг, 2 кг и 5 кг и т. Д. Конкретные спецификации упаковки могут быть настроены в соответствии с требованиями пользователя. Ксенон дифлюорид должен храниться в тенистой и вентилируемой кладовой, отделенной от окислителя 、 пищевые химические вещества 、 щелочный металл, держащий вдали от источников огня.
Contact Now
