Contact Now
Please Leave Us A Message
Privacy statement: Your privacy is very important to Us. Our company promises not to disclose your personal information to any external company with out your explicit permission.
Shandong Zhongshan Photoelectric Materials Co., Ltd
Модель: Nitrogen Trifluoride CAS: 7783-54-2
Вид оплаты: L/C,T/T,Paypal
NF3 азот трифторид CAS: 7783-54-2 99,5%
Высокая чистота для электронных
травление специального газа
Использование продукта
Азотный трифторид (NF3) является своего рода бесцветным, без запаха и стабильного газа, он также является своего рода сильным окислителем. Его температура плавления составляет 206,8 ℃, температура кипения составляет 129,0 ℃, нерастворим в воде. Азотный трифторид в микроэлектронике представляет собой превосходный газ в плазме, который трескается в активный ион фтора во время процесса травления в плазме. Для травления плазмы нитрида кремния и кремния с использованием азота трифторида имеет более высокую скорость травления и селективность, чем использование углеродного телтрафторида или углеродного тетрафлюрида и кислорода, смешанного газа, особенно при обработке интегрированных цепи с толщиной менее 1,5 мкм, особенно при обработке цетра Азотный трифторид обладает превосходной скоростью травления и селективности, более того, на поверхности загрязненного материала нет загрязнения, он также является хорошим чистящим средством.
Параметр продукта
| Items | Unit | Indexs | ||||
| （NF3）≥ | Vol.% | 99.5 | 99.9 | 99.98 | 99.99 | 99.996 |
| （CF4）≤ | Vol.ppm | 1500 | 500 | 100 | 50 | 20 |
| （N2）≤ | Vol.ppm | 700 | 50 | 10 | 10 | 5 |
| （O2+Ar））≤ | Vol.ppm | 700 | 50 | 10 | 5 | 3 |
| （CO）≤ | Vol.ppm | 50 | 10 | 10 | 5 | 1 |
| （CO2）≤ | Vol.ppm | 25 | 10 | 10 | 5 | 0.5 |
| （N2O）≤ | Vol.ppm | 50 | 10 | 10 | 5 | 1 |
| （SF6）≤ | Vol.ppm | 50 | 50 | 10 | 5 | 2 |
|
Hydrolyzable fluoride
（Measured by HF）≤
|
Vol.ppm | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
| （H2O）≤ | Vol.ppm | 1 | 1 | 1 | 1 |
1 |
Группа Продуктов : Полупроводниковые электронные химические материалы > Полупроводниковые/пластинговые материалы
мобильный сайт
Privacy statement: Your privacy is very important to Us. Our company promises not to disclose your personal information to any external company with out your explicit permission.
Fill in more information so that we can get in touch with you faster
Privacy statement: Your privacy is very important to Us. Our company promises not to disclose your personal information to any external company with out your explicit permission.