Сера гексафторид CAS: 2551-62-4 SF6 99,999%
5N Электронный газ с высокой чистотой.
Использование продукта
Гексафторид серы представляет собой бесцветный, не токсичный, неплохим, неплохим инертным газом с молекулярной массой 146,07, температурой плавления -51 ° C и темной кипения -64 ° C. Молекулярная структура гексафторида серы расположена в октаэдре, расстояние связывания невелика, а энергия связывания высока, поэтому его стабильность высока. Электронный герметичный серый гексафторид серы является идеальным травлением. Гексафторид серы может использоваться для травления поверхности кремния и удаления органических или неорганических мембран на полупроводниковых материалах и может использоваться при изготовлении оптических волокон.
Спецификация качества
|
Items
|
Units
|
Index
|
|
（SF6）Sulfur
hexafluoride
|
Vol./%
|
≥99.999%
|
|
Oxygen+Argon（O2+Ar）≤
|
Vol.ppm
|
≤2
|
|
Nitrogen（N2）≤
|
Vol.ppm
|
≤2
|
|
Carbon tetrafluoride（CF4）≤
|
Vol.ppm
|
≤1
|
|
Carbon monoxide（CO）≤
|
Vol.ppm
|
≤0.5
|
|
Carbon dioxide（CO2）≤
|
Vol.ppm
|
≤0.5
|
|
Methane（CH4）≤
|
Vol.ppm
|
≤0.5
|
|
Moisture（H2O）≤
|
Vol.ppm
|
≤3
|
|
Acidity（以HF计）≤
|
μg
|
≤0.1
|
|
Hydrolytic fluoride（以HF计）≤
|
μg
|
≤0.8
|
|
Total impurity content≤
|
μg
|
≤10
|
|
Particle
|
μg
|
Supply and demand agreement
|
Приложение
Электронный герметичный гексафторид чистого серы является идеальным электронным травлением, который широко используется в области микроэлектроники, он используется в качестве плазменного травления и чистящего агента при изготовлении крупных интегрированных цепей, таких как компьютерные чипы и ЖК -дисплей. Гексафторид серы используется в качестве источника фтора для получения легированного фтором стекла при приготовлении оптического волокна. Кроме того, гексафторид серы также может использоваться в качестве изоляционного газа, индикального агента и хладагента.
Упаковка 、 хранение
Гексафторид серы хранится в стандартных бесшовных цилиндрах, обычно объем цилиндра составляет 40 л, тип цилиндра-CGA590 QF-2, а давление цилиндра составляет 8,0 МПа и 12,5 МПа. Конкретные спецификации упаковки могут быть настроены в соответствии с требованиями пользователя. Гексафторид серы хранится в тенистой и вентилируемой кладовой вдали от огня и источника тепла, температура сбора не превышает 30 ℃. Он должен быть отдельно храниться с помощью компетентного (горючего) и окислительного агента. Зона хранения должна быть оснащена аварийным оборудованием для чрезвычайной ситуации.
Contact Now
