Вольфрамовый гексафторид CAS: 7783-82-6 WF6
Высокая чистота 99,999% 5N полупроводниковой материал
Внедрение продукции
Гексафторид вольфрама представляет собой своего рода бесцветный газ при комнатной температуре, он является сильным острым, токсичным и сходным с токсичностью фтора, его молекулярная формула - WF 6 , а молекулярная масса - 297,830, температура кипения составляет 17,5 ℃, а температура плавления - 2,3 ℃. Гексафторид вольфрама может быть растворен в органических растворителях и разлагается в воде, он также разлагается на влагу в воздухе, а затем сильно курит. Его химическое свойство активно, и оно может реагировать практически со всеми металлами (кроме золота и платины) и коррозировать никель, сплавы Monel и нержавеющая сталь. Гексафторид вольфрама является единственным, что стабильно и промышленно производится среди фтора вольфрамового вольфрама, и он используется в качестве процесса сырья химического осаждения пара (CVD) вольфрама в электронной промышленности, который является его основным полем применения. В частности, WSI 2 , изготовленный из WF 6 , может использоваться в качестве проводного материала в крупномасштабной интегрированной цепи (LSI).
Спецификация качества
|
Items
|
Units
|
Index
|
Index
|
Index
|
|
Tungsten hexafluoride≥
|
Vol.%
|
99.9
|
99.999
|
99.9995
|
|
Carbon tetrafluoride（CF4）≤
|
Vol.ppm
|
10
|
0.5
|
0.5
|
|
Nitrogen（N2）≤
|
Vol.ppm
|
50
|
1
|
0.5
|
|
Oxygen+ Argon（O2+Ar）≤
|
Vol.ppm
|
50
|
0.5
|
0.5
|
|
Carbon dioxide（CO2）≤
|
Vol.ppm
|
-
|
0.5
|
0.5
|
|
Carbon monoxide（CO）≤
|
Vol.ppm
|
-
|
0.5
|
0.5
|
|
Sulfur hexafluoride（SF6）≤
|
Vol.ppm
|
10
|
0.5
|
0.5
|
|
Silicon tetrafluoride（SiF4）≤
|
Vol.ppm
|
10
|
0.5
|
0.5
|
|
Hydrogen fluoride（HF）≤
|
Vol.ppm
|
800
|
1
|
1
|
Приложение
Гексафторид вольфрама может использоваться в качестве процесса сырья химического осаждения пара (CVD) вольфрама в электронной промышленности, также можно использовать в качестве полупроводникового электрода и проводящей пасты. Кроме того, вольфрамовый гексафторид широко используется в качестве фларидизатора, катализатора полимеризации и сырья оптических материалов.
Упаковка 、 хранение
Вольфрамовый гексафторид хранится в стандартных бесшовных цилиндрах, характеристики упаковки включают 8L, 44L и 47L соответственно. Конкретные спецификации упаковки могут быть настроены в соответствии с требованиями пользователя. Вольфрамовый гексафторид хранится в тенистой, сухой и вентилируемой кладовой вдали от источника огня и тепла. Зона хранения должна быть оборудована оборудованием для чрезвычайной ситуации.
Contact Now
