Сера тетрафлюрид SF4 для травления в плазме

Серная тетрафлюорид CAS: 7783-60-0 SF4 99% 2n

Для плазменного травления и медицинского промежутка

Использование продукта

Органический фторический агент Селфур тетрафлюрид (SF4) является селективным органическим фторизированным агентом. Тетрафлюорид серы вызовет коррозию, аналогичную гидрофлуорической кислоте, когда он столкнется с влажностью. Он будет полностью гидролизован в диоксид серы и гидрофлуорическую кислоту, а когда он частично гидролизуется, он будет генерировать токсичный тиониловый фторид. SF4 является очень важным фторированным реагентом в химии фтора. Он может преобразовать гидроксильные соединения в монофторированные соединения, альдегиды и кетоны в дифтоорированные соединения, а также может преобразовать карбоксильные группы в трифторметильные группы. Важное сырье для трифторметиловых соединений.

Параметр продукта

Items	Units	Index
Sulfur tetrafluoride（SF4）≥	Vol.%	99.0
Sulfur hexafluoride（SF6）≤	Vol.%	0.2
（Air）≤	Vol.%	0.1
Carbon dioxide（CO2）≤	Vol.%	0.05
Carbon tetrafluoride（CF4）≤	Vol.%	0.1
Other fluorosulfur compounds（SxFy）≤	Vol.%	0.5

Приложение

Тетрафлюорид серы является наиболее эффективным и селективным фларидизатором, который широко используется в синтезе высококачественного жидкокристаллического материала, фториносодержащий пестицид, медицина и медицинский промежуточный, серный тетрафлурид также используется во многих областях, таких как электронный газ, химический пара осаждение, поверхностное лечебное средство и травление плазмы.
Упаковка 、 хранение

Тетрафлюорид серы хранится в стандартных бесшовных цилиндрах, спецификации упаковки включают специфические специфические спецификации упаковки. Тетрафлюорид серы должен храниться в тетрафлуриде серы, хранящийся в стандартных бесшовных цилиндрах, спецификации упаковки включают 4land 10L.pcifice спецификации упаковки могут быть настроены в соответствии с требованиями пользователей. Тетрафлюрид серы должен храниться в тенистой и вентилируемой кладовой, и он должен отделиться от окислителей, химических веществ и щелочных металлов и держаться подальше от источников огня и тепла.