Высокая чистота кремния тетрафлюрида CAS: 7783-61-1 SIF4 99,999%
5N Химические электронные специальные газы
Внедрение продукции
Кремниевый тетрафлюрид (SIF 4 ) является своего рода бесцветным, токсичным, острым и вонючим газом с молекулярной массой 104,06. Кремниевый тетрафлюрид легко разжигает и может производить густой дым во влажном воздухе. Тетрафлюрид кремния растворим в этаноле, эфире, азотной кислоте, гидрофлуорической кислоте, его гигроскопичность очень сильна, а SIF 4 изменяется в жидкости под давлением, кремниевый тетрафлюрид обладает широким диапазоном применений в электронной промышленности.
Спецификация качества
|
Items
|
Units
|
Index
|
|
Silicon tetrafluoride（SiF4）≥
|
Vol.%
|
99.999
|
|
Hydrogen（H2）≤
|
Vol.ppm
|
1
|
|
Oxygen + Argon（O2+Ar）≤
|
Vol.ppm
|
0.5
|
|
Nitrogen（N2）≤
|
Vol.ppm
|
4
|
|
Carbon monoxide（CO）≤
|
Vol.ppm
|
0.1
|
|
Carbon dioxide（CO2）≤
|
Vol.ppm
|
0.3
|
|
Methane（CH4）≤
|
Vol.ppm
|
1
|
|
Hydrogen sulfide（SH2）≤
|
Vol.ppm
|
0.1
|
|
Oxygen（O2）≤
|
Vol.ppm
|
0.1
|
|
Sulfur dioxide（SO2）≤
|
Vol.ppm
|
10
|
|
Total impurity content≤
|
Vol.ppm
|
1
|
|
Hexafluorodimethyl silicone ether
|
Supply and demand agreement
|
Supply and demand agreement
|
|
As、B、P
|
Supply and demand agreement
|
Supply and demand agreement
|
|
Particle
|
Supply and demand agreement
|
Supply and demand agreement
|
Приложение
Тетрафлюрид кремния в основном используется в качестве легирующей привязки P-типа, травления и диффузионной диффузии осаждения эпитаксиального осаждения и силицида кремния и силицида тантала в электронной промышленности, и SIF 4 также может использоваться для приготовления электронного силана или кремния. Кроме того, кремниевый тетрафлюрид может быть использован для получения солнечных батарей, фтооросилической кислоты и фторида кремния, цемента и отверждения искусственного мрамора.
Contact Now
