Hexafluoroethane CAS: 76-16-4 C2F6 Чистота
99,999% 5N для полупроводникового газа
Внедрение продукции
Гексафторуэтан (C 2 F 6 ), также известный как перфторуэтан, является своего рода бесцветным, без запаха, неплохим инертным газом. При нормальной температуре и давлении его температура плавления составляет 100,6 ℃, температура кипения составляет 78,2 ℃, слегка растворим в воде. Гексафторуэтан вырабатывается реакцией R125 и фторинового газа, затем получает продукты электронного уровня после очистки и исправления. Из-за нетоксичной, без запаха и высокой стабильности гексафторуэтан широко используется в процессе производства полупроводников. Гексафторуэтан, в качестве сухого травления, имеет преимущества очень небольшого травления на границе, высокой скорости травления и высокой точности, что может соответствовать требованиям процесса производства полупроводников для малой ширины линии.
Спецификация качества
|
Items
|
Unit
|
Indexs
|
|
C2F6
|
Vol.%
|
≥99.999
|
|
O2+Ar
|
Vol.ppm
|
＜1
|
|
N2
|
Vol.ppm
|
＜5
|
|
CO
|
Vol.ppm
|
＜0.5
|
|
CO2
|
Vol.ppm
|
＜0.5
|
|
H2
|
Vol.ppm
|
＜0.5
|
|
Halohydrocarbon
|
Vol.ppm
|
＜5
|
|
CH4
|
Vol.ppm
|
＜1
|
|
H2O
|
Vol.ppm
|
＜2
|
|
Acidity（Measured by HF）
|
Wt. ppm
|
＜0.1
|
|
Total impurity content
|
Mol.ppm
|
≤10
|
Приложение
Электронный гексафторуэтан используется в основном в производственном процессе полупроводниковых материалов и полупроводниковых устройств в качестве травления и чистящего агента, а также изоляционного газа и высокой диэлектрической прочности.
Упаковка и хранение
Гексафторуэтан заполняется в цилиндрах с высоким давлением, которые оснащены латунными клапанами с подходящим соединением для заменяемых стандартных фитингов типа 320 CGA. Спецификации упаковки могут быть настроены в соответствии с требованиями клиентов.
Contact Now
