Азотный трифторид CAS: 7783-54-2 NF3
99,5%плазменного травления газа
Внедрение продукции
Азотный трифторид (NF 3 ) - это своего рода бесцветный, без запаха и стабильный газ, он также является своего рода сильным окислителем. При нормальной температуре и давлении его температура плавления составляет 206,8 ℃, температура кипения составляет 129,0 ℃, нерастворим в воде. Азотный трифторид в микроэлектронике представляет собой превосходный газ в плазме, который трескается в активный ион фтора во время процесса травления в плазме. Для плазменного травления нитрида кремния и кремния с использованием азота трифторида имеет более высокую скорость травления и селективность, чем использование углеродного тетрафлюрида или тетрафальторида углерода и кислорода, особенно при обработке цетралового материала с толщиной менее 1,5 мкм, особенно в процессе цетра Азотный трифторид обладает превосходной скоростью травления и селективности, более того, на поверхности загрязненного материала нет загрязнения, он также является хорошим чистящим средством.
Спецификация качества
|
Project
|
Unit
|
index
|
|
（NF3）≥
|
Vol.%
|
99.5
|
99.9
|
99.98
|
99.99
|
99.996
|
|
（CF4）≤
|
Vol.ppm
|
1500
|
500
|
100
|
50
|
20
|
|
（N2）≤
|
Vol.ppm
|
700
|
50
|
10
|
10
|
5
|
|
（O2+Ar））≤
|
Vol.ppm
|
700
|
50
|
10
|
5
|
3
|
|
（CO）≤
|
Vol.ppm
|
50
|
10
|
10
|
5
|
1
|
|
（CO2）≤
|
Vol.ppm
|
25
|
10
|
10
|
5
|
0.5
|
|
（N2O）≤
|
Vol.ppm
|
50
|
10
|
10
|
5
|
1
|
|
（SF6）≤
|
Vol.ppm
|
50
|
50
|
10
|
5
|
2
|
|
Hydrolyzable fluoride
（Measured by HF）≤
|
Vol.ppm
|
1
|
1
|
1
|
1
|
1
|
|
（H2O）≤
|
Vol.ppm
|
1
|
1
|
1
|
1
|
1
|
Приложение
Трифторид азота может использоваться в качестве источника фтора высокоэнергетического химического лазерного газа и в качестве травления для полупроводниковых материалов, таких как полисиликон, нитрид кремния и вольфрамовый силицид. Он также может быть использован в качестве чистящего агента для химической камеры осаждения паров и ЖК -панели. Трифторид азота используется в качестве чистящего средства для ящика с сердечно -сосудистыми заболеваниями, что может снизить выбросы загрязняющих веществ на 90% по сравнению с перфторурублетками и значительно улучшить скорость очистки и чистящие способности.
Упаковка и хранение
Трифторид азота заполняется в бесшовном цилиндре стали с объемом 8L, 40L, 43,3L и 47L соответственно. Модель цилиндра-DOT-3AA, GB 5099, давление цилиндра составляет 9,0-13,0 МПа. Спецификации упаковки могут быть настроены в соответствии с требованиями клиентов.
Contact Now
